一、半導(dǎo)體行業(yè)硅片/石英/陶瓷切削液使用所面臨的問題和挑戰(zhàn)
在半導(dǎo)體行業(yè)硅片、石英、陶瓷的切削和磨削加工中,切削液常混入大量微小且堅(jiān)硬的粉末顆粒。這些粉末不僅易堵塞過濾設(shè)備,導(dǎo)致頻繁維護(hù)和更換,增加生產(chǎn)成本,影響設(shè)備稼動率,還對設(shè)備造成磨損和腐蝕,縮短使用壽命。傳統(tǒng)過濾方法難以有效分離這些細(xì)小顆粒,導(dǎo)致切削液更換頻繁,生產(chǎn)和環(huán)保成本高。
各材料生產(chǎn)過程中顆粒物粒徑及面臨的痛點(diǎn):
二、傳統(tǒng)的過濾方法:
1、板框壓濾法:板框壓濾容易堵塞進(jìn)料口,處理量小,濾餅難以取出,濾布消耗大,易碎,占地和沖洗水量大;
2、袋式過濾法:袋式過濾的過濾精度有限,并且需要頻繁更換和維護(hù)。
三、路弘科技粉末精密過濾解決方案
1、濾餅過濾法:通過濾餅過濾原理,液體經(jīng)過濾布時,固體物質(zhì)逐步集聚在濾布表面,形成“濾餅層”,阻止顆粒雜質(zhì)的逃逸,使濾液變清。系統(tǒng)會根據(jù)壓力傳感器信號進(jìn)行反吹脫餅作業(yè),重新構(gòu)建新“濾餅層”,確保高效過濾效果;
2、錯流過濾法:錯流過濾通過液體平行流動帶走大部分顆粒,減少濾膜堵塞,延長濾膜壽命并提高過濾效率,適用于高固體含量液體的過濾。
四、粉末精密過濾系統(tǒng)應(yīng)用方式
1、單機(jī)固定式處理:適合機(jī)床間隙較小且分散布置的場景。
1)將粉末過濾設(shè)備固定安裝至機(jī)床水箱旁,依據(jù)機(jī)床使用情況實(shí)現(xiàn)一對多定時處理或者與機(jī)床聯(lián)動,及時過濾;
2)設(shè)置機(jī)床水箱液位檢測、濃度檢測,以及檢測結(jié)果做出相應(yīng)報(bào)警、提示,及時補(bǔ)液(根據(jù)需要選配全自動配液系統(tǒng))。
2、單機(jī)輪循式處理:適用于多條生產(chǎn)線或不同生產(chǎn)區(qū)域的共享使用。
1)將粉末過濾設(shè)備移動到機(jī)床水箱旁,設(shè)置好運(yùn)行參數(shù)后,開啟設(shè)備自動過濾、過濾干凈之后移動到下一臺繼續(xù)處理;
2)過濾顆粒物足夠多之后,系統(tǒng)壓力上升,此時系統(tǒng)自動進(jìn)行反吹、排渣,排渣完成之后繼續(xù)過濾;
3)設(shè)備工作過程中只需要人工定時將設(shè)備排出的渣轉(zhuǎn)運(yùn)至指定位置即可,其他無需人工干預(yù)。
3、全自動集中供液處理:適用于智能化要求比較高的場景。
1) 切削液收集和初步處理:每臺機(jī)床安裝溢流管路,切削液通過溢流管道進(jìn)入地坑;
2) 過濾和分離處理:切削液通過精密粉末過濾系統(tǒng)集中過濾;
3) 切削液凈化再利用:通過水力空化系統(tǒng)和浮油收集分離裝置,去除浮油和“水包油”并滅菌,使切削液得到凈化后再回用。最后通過智能配液系統(tǒng)實(shí)時補(bǔ)充損失的切削液;
4)切削液集中供液:最后將處理好的切削液通過供液管路回用到機(jī)床。
4、產(chǎn)品參數(shù):
五、半導(dǎo)體行業(yè)粉末精密過濾系統(tǒng)現(xiàn)場應(yīng)用效果
杭州某半導(dǎo)體材料知名企業(yè):國際知名的半導(dǎo)體產(chǎn)品與解決方案供應(yīng)商,從事半導(dǎo)體硅片、熱電半導(dǎo)體致冷材料與器件、半導(dǎo)體石英制品、精密陶瓷制品、半導(dǎo)體真空傳動裝置及大型腔體、半導(dǎo)體裝備、單晶爐等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售,產(chǎn)品涉及電子、半導(dǎo)體、機(jī)械加工、太陽能發(fā)電、汽車/新能源汽車、家用電器和醫(yī)療器械等眾多領(lǐng)域。
一、硅片加工粉末過濾效果:
二、陶瓷加工粉末過濾效果:
重慶某半導(dǎo)體龍頭企業(yè):是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件及先進(jìn)陶瓷材料研發(fā)、制造及銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品廣泛供應(yīng)國內(nèi)半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體行業(yè)龍頭企業(yè)、世界知名企業(yè)。