您的位置： 首頁－產(chǎn)品及解決方案 - 半導(dǎo)體行業(yè) 粉末精密過濾系統(tǒng)

一、半導(dǎo)體行業(yè)硅片/石英/陶瓷切削液使用所面臨的問題和挑戰(zhàn)

 在半導(dǎo)體行業(yè)硅片、石英、陶瓷的切削和磨削加工中，切削液常混入大量微小且堅(jiān)硬的粉末顆粒。這些粉末不僅易堵塞過濾設(shè)備，導(dǎo)致頻繁維護(hù)和更換，增加生產(chǎn)成本，影響設(shè)備稼動率，還對設(shè)備造成磨損和腐蝕，縮短使用壽命。傳統(tǒng)過濾方法難以有效分離這些細(xì)小顆粒，導(dǎo)致切削液更換頻繁，生產(chǎn)和環(huán)保成本高。

各材料生產(chǎn)過程中顆粒物粒徑及面臨的痛點(diǎn)：

 二、傳統(tǒng)的過濾方法：

1、板框壓濾法：板框壓濾容易堵塞進(jìn)料口，處理量小，濾餅難以取出，濾布消耗大，易碎，占地和沖洗水量大；
2、袋式過濾法：袋式過濾的過濾精度有限，并且需要頻繁更換和維護(hù)。

 三、路弘科技粉末精密過濾解決方案

1、濾餅過濾法：通過濾餅過濾原理，液體經(jīng)過濾布時，固體物質(zhì)逐步集聚在濾布表面，形成“濾餅層”，阻止顆粒雜質(zhì)的逃逸，使濾液變清。系統(tǒng)會根據(jù)壓力傳感器信號進(jìn)行反吹脫餅作業(yè)，重新構(gòu)建新“濾餅層”，確保高效過濾效果；
2、錯流過濾法：錯流過濾通過液體平行流動帶走大部分顆粒，減少濾膜堵塞，延長濾膜壽命并提高過濾效率，適用于高固體含量液體的過濾。
 四、粉末精密過濾系統(tǒng)應(yīng)用方式

1、單機(jī)固定式處理：適合機(jī)床間隙較小且分散布置的場景。
1）將粉末過濾設(shè)備固定安裝至機(jī)床水箱旁，依據(jù)機(jī)床使用情況實(shí)現(xiàn)一對多定時處理或者與機(jī)床聯(lián)動，及時過濾；
2）設(shè)置機(jī)床水箱液位檢測、濃度檢測，以及檢測結(jié)果做出相應(yīng)報(bào)警、提示，及時補(bǔ)液（根據(jù)需要選配全自動配液系統(tǒng)）。

2、單機(jī)輪循式處理：適用于多條生產(chǎn)線或不同生產(chǎn)區(qū)域的共享使用。
1）將粉末過濾設(shè)備移動到機(jī)床水箱旁，設(shè)置好運(yùn)行參數(shù)后，開啟設(shè)備自動過濾、過濾干凈之后移動到下一臺繼續(xù)處理；
2）過濾顆粒物足夠多之后，系統(tǒng)壓力上升，此時系統(tǒng)自動進(jìn)行反吹、排渣，排渣完成之后繼續(xù)過濾；
3）設(shè)備工作過程中只需要人工定時將設(shè)備排出的渣轉(zhuǎn)運(yùn)至指定位置即可，其他無需人工干預(yù)。
 3、全自動集中供液處理：適用于智能化要求比較高的場景。

1)  切削液收集和初步處理：每臺機(jī)床安裝溢流管路，切削液通過溢流管道進(jìn)入地坑；
2)  過濾和分離處理：切削液通過精密粉末過濾系統(tǒng)集中過濾；
3)  切削液凈化再利用：通過水力空化系統(tǒng)和浮油收集分離裝置，去除浮油和“水包油”并滅菌，使切削液得到凈化后再回用。最后通過智能配液系統(tǒng)實(shí)時補(bǔ)充損失的切削液；

4）切削液集中供液：最后將處理好的切削液通過供液管路回用到機(jī)床。
 4、產(chǎn)品參數(shù)：

 五、半導(dǎo)體行業(yè)粉末精密過濾系統(tǒng)現(xiàn)場應(yīng)用效果

杭州某半導(dǎo)體材料知名企業(yè)：國際知名的半導(dǎo)體產(chǎn)品與解決方案供應(yīng)商，從事半導(dǎo)體硅片、熱電半導(dǎo)體致冷材料與器件、半導(dǎo)體石英制品、精密陶瓷制品、半導(dǎo)體真空傳動裝置及大型腔體、半導(dǎo)體裝備、單晶爐等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售，產(chǎn)品涉及電子、半導(dǎo)體、機(jī)械加工、太陽能發(fā)電、汽車/新能源汽車、家用電器和醫(yī)療器械等眾多領(lǐng)域。

一、硅片加工粉末過濾效果：


二、陶瓷加工粉末過濾效果：


三、 石英加工粉末過濾效果：

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